【2020測量大咖】什么是共聚焦顯微鏡?蔡司非接觸式高精度的共聚焦測量技術(shù)
更出色的表面分析ZEISS Smartproof 5產(chǎn)品表面粗糙度質(zhì)量控制
ZEISS Smartproof 5是一款集成式轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡,依托孔徑關(guān)聯(lián)技術(shù)將傳統(tǒng)共聚焦顯微鏡的高分辨率與轉(zhuǎn)盤系統(tǒng)的高速采集相結(jié)合,能夠高速、準確地采集表面3D數(shù)據(jù)。
二維測量:距離、高度、角度、構(gòu)造元素和基于ISO 4287標準的輪廓粗糙度
三維測量:水平距離、3D距離、高度、角度、構(gòu)造點、面積、體積和基于 ISO 25178 標準的面粗糙度
優(yōu)勢:Z軸測量精度可達納米級
采集速度與分辨率:Smartproof 5 將點掃描系統(tǒng)的高分辨率與轉(zhuǎn)盤系統(tǒng)的高速采集優(yōu)勢融為一體。
(左圖)由 20x/0.7 物鏡拍攝的四張真彩表面紋理疊加 3D 彩色編碼高度圖的拼接圖片;(右圖)以垂直于機械加工方向獲取的粗糙度剖面圖,顯示了表面輪廓。
應(yīng)用案例:花齒螺釘
(左圖)疊加真彩紋理的三維視圖;(中圖)用 10×/0.4 物鏡創(chuàng)建的高度圖;(右圖)用于測量區(qū)域粗糙度或紋理的二維高度圖,例如用于質(zhì)量控制或確定假冒電子設(shè)備。